夸父（KF）系列原子层沉积系统

夸父系列工业批量型原子层沉积系统采用自主知识产权的反应腔体设计和先进的薄膜沉积及自动化集成技术,可为高效晶硅太阳能电池表面钝化提供高质量超薄钝化膜的制备，确保电池光电转换效率的进一步提升。基于成功量产机型的设计原理，夸父系列 ALD薄膜钝化系统是微导纳米原创设计的第五代产品，代表了光伏行业国产创新设备的先进技术，在提供超高产能的同时,最大程度降低设备的运营成本，为客户提供可靠的量产解决方案，引领光伏产业化高效电池智能化制造。

1、适用于PERC、PERL、PERT、TOPCon、IBC、TBC、HJT、Perovskite、Tandem-Cell等高效电池技术的应用;

2、可制备薄膜包括Al2O3、SiO2、TiO2、ZnO、SnO2、HfO2, ZrO2等;

3、单腔最大装片量可达2400片/批次，兼容M10-M12硅片尺寸，升级切换简单;

4、精确实现原子层级薄膜厚度控制（1-10 nm，可调），具备优异的薄膜厚度均匀性（片内3%，片间3%，批间3%）;

5、独立运行反应腔体，确保最大化设备运行率（>99%）;

6、提供定制化复杂纳米叠层工艺以及CVD兼容功能。