㈠ 半导体、光伏产业用透明石英玻璃相关性能
1、化学性能:
石英玻璃除氢氟酸,对大多数酸性、碱性及中性物质均有良好的抗侵蚀性能。
气炼石英玻璃的羟基含量:200 ppm 左右。
气炼石英玻璃的化学纯度 (单位:ppm)
元素 | Al | Fe | Ca | Mg | Ti | Pb | Mn | Ni | Co | Cu | K | Na | Li | B | 总含量 |
含量 | 10~30 | 0.4~1 | 0.18~2 | 1 | 1.4 | 0.1 | 0.024 | 0.1 | - | 0.012 | 2 | 2 | 0.2 | 0.3 | ≤50 |
2、热性能:
① 透明石英玻璃在0~1000℃的平均热膨胀系数为5.4×10-7/℃。
② 析晶温度:起始温度为1000℃左右,但表面受沾污都会降低析晶温度和加速析晶过程。
③ 常规使用温度:连续使用温度1050℃左右;
间断使用温度1250℃左右。
④ 几个特征温度:应变温度1075℃左右;退火温度1180℃左右;
热加工温度1700~2100℃。
㈡ 几种常用石英玻璃产品及规格: (单位:mm)
品名 | 外径 | 壁厚 | 高度(长度) |
透明石英玻璃坩埚 | 80~130 | 2.0~2.8 | 60~110 |
134~150 | 2.0~3.5 | 80~130 | |
200~210 | 3.5~4.5 | 140~160 | |
225~270 | 4~5 | 155~190 | |
透明石英玻璃炉管 | 40~130 | 2~5 | 1000~2500 |
140~210 | 3~6 | ||
220~280及以上 | 4~7 | ||
仪器及器皿 | 按客户要求承接各类石英板、棒、槽舟;石英源瓶、 |